“兵器造”人体测温用高精度MEMS红外温度传感器技术实现突破

　　高性能耳温枪、额温枪等非接触测温工具是当前对大规模人员进行发热筛查的主要工具之一，而其核心部件MEMS红外温度传感器长期主要依赖进口。近日，中国兵器工业集团电子院华东光电集成器件研究所通过技术攻关，已完成传感器芯片各类单项试验，性能指标精度达到0.1℃，抗干扰能力优于目前市场主流产品。

　　(图为封装后的MEMS红外智能传感器芯片)

　　针对疫情防控、复工复产对高性能耳温枪和额温枪等非接触人体测温工具MEMS红外传感器的迫切需求以及用户上百万颗的订货需求，华东光电集成器件研究所自1月底紧急调整产品研制计划，提前复工复产，组建党员突击队和技术攻关小组，24小时不间断轮班开展研制工作，目前已完成传感器芯片各类单项试验，预计在3月底完成芯片样品研制。同时华东光电集成器件研究所还采购全自动化组封装关键设备、补充芯片制造的关键设备，推动传感器芯片制造、组封装的国产化，月产能将从目前的2万颗提升到100万颗以上，4月初可大量投放市场。

　　图为传感器芯片封装现场

　　作为国家发改委MEMS国家地方联合工程实验室和兵器工业集团微系统制造技术创新中心，华东光电集成器件研究所具有MEMS传感器芯片设计、制造、封装、测试等完整的科研能力，通过技术创新取得MEMS传感器多项技术成果，下一步将开发相关测温产品，满足疫情防控、复工复产等高精度人体测温需要。（电子院）